[发明专利]基于超临界CO2 有效
| 申请号： | 202110803580.8 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113555422B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 冯倩;蔡云匆;王正兴;田旭升;张春福;周弘;张进成 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/24;H01L29/06;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;王喜媛 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于超临界CO |
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| 搜索关键词： | 基于 临界 co base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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