[发明专利]色散共焦测量系统及其误差修正方法有效
| 申请号： | 202110803073.4 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113358030B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 王建立;糜小涛;杨永强;王之一;明名;马振予;张玉良;陈宝刚;陈琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B11/26 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种色散共焦测量系统，包括：色散共焦测量装置、误差修正装置、处理器组件；本发明还提供误差修正方法，包括以下步骤：S1、得到成像光斑的质心位置，得到过原点和成像光斑的质心的参照直线的方程；S2、得到轮廓曲线的曲线方程，得到最短径向距离；S3、得到待测光学元件的表面与水平面之间的夹角；S4、得到待测光学元件的表面的倾斜角；S5、得到测量误差，并对色散共焦测量系统的测量结果进行修正，得到修正后的测量值。本发明通过误差修正装置，修正色散共焦测量系统在测量倾斜表面时产生的误差；本发明还通过对不同倾斜角的平面进行标定，得到倾斜角与测量误差之间的关系曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 色散 测量 系统 及其 误差 修正 方法 | ||
【主权项】：
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