[发明专利]修整装置和研磨装置在审
| 申请号： | 202110785267.6 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113941953A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 三井贵彦;山本荣一 | 申请（专利权）人： | 株式会社冈本工作机械制作所 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B53/017;B24B53/12;B24B55/00;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 鹿屹;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供修整装置和研磨装置。修整装置包括：修整器，设置于研磨装置，所述研磨装置使研磨垫接触基板状的工件并利用所述工件与所述研磨垫的相对移动来研磨所述工件，并且所述修整器具有与所述研磨垫的研磨面相对滑动来修整所述研磨垫的修整面；修整器驱动构件，使所述修整器旋转；高压水产生装置，供给加压到1～15MPa的高压水；以及高压水喷嘴，朝向旋转的所述修整面喷射所述高压水。 | ||
| 搜索关键词： | 修整 装置 研磨 | ||
【主权项】：
暂无信息
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