[发明专利]微纳米材料与结构力热耦合高周疲劳试验方法及试验装置有效
| 申请号： | 202110782965.0 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113514352B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 闫亚宾;轩福贞;王晓媛;高阳;李晟;李振凯 | 申请（专利权）人： | 华东理工大学 |
| 主分类号： | G01N3/32 | 分类号： | G01N3/32;G01N3/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 200237 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微纳米材料与结构力热耦合高周疲劳试验方法及试验装置，涉及集成电路芯片技术领域，采用悬臂型试样，通过在悬臂型试样的一端保留试样测振部来抑制试样的高谐振频率，并能够准确调控试样整体的谐振频率。通过激振装置激励的方式，使得微纳尺度试样可以进行高周循环加载，而无需接触。并用激光多普勒测振仪在悬臂型试样的两处取点测量。采用非接触式加热装置，利用热辐射的方式对悬臂型试样加热，避免影响悬臂型试样的振动，从而可以在原位测试中对微纳尺度试样进行无支撑衬底、无残余应力、无接触以及加热条件下的完全反向循环加载，从而完成微纳米材料与结构力热耦合高周疲劳试验，提升了试验结果的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 材料 结构 耦合 疲劳 试验 方法 试验装置 | ||
【主权项】：
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