[发明专利]光致抗蚀剂组合物及图案形成方法在审
| 申请号： | 202110781813.9 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113946097A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | E·阿卡德;B·温宁;C-B·李;J·W·萨克莱;K·杨;J·F·卡梅伦 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;乐洪咏 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光致抗蚀剂组合物，其包含：第一聚合物，所述第一聚合物含有包含羟基‑芳基的第一重复单元和包含酸不稳定基团的第二重复单元；第二聚合物，所述第二聚合物含有包含酸不稳定基团的第一重复单元、包含内酯基团的第二重复单元、和包含碱可溶解的基团的第三重复单元，其中，所述碱可溶解的基团具有小于或等于12的pKa，并且其中所述碱可溶解的基团不包含羟基取代的芳基；光酸产生剂；和溶剂；其中所述第一聚合物和所述第二聚合物彼此不同。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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