[发明专利]微机电系统及其MEMS惯性传感器、制造方法在审
| 申请号： | 202110780190.3 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113551672A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 张拴;杨云春;马琳;陆原;郭鹏飞 | 申请（专利权）人： | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01C21/18 | 分类号： | G01C21/18;B81B7/02;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 梁凯 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统MEMS惯性传感器，包括：第一晶圆，所述第一晶圆的正面设有第一凹槽；第二晶圆，所述第二晶圆包括晶圆框架和质量块，所述晶圆框架与所述质量块之间设有弹簧；所述质量块，所述弹簧与所述第一凹槽形成空腔；所述第二晶圆的背面与所述第一晶圆的正面直接键合；其中，所述质量块包括第二凹槽，所述第二凹槽中填充密度大于硅的金属层；上述MEMS惯性传感器具有更好的感知灵敏度和检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 及其 mems 惯性 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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