[发明专利]一种金属掩膜版框架密封装载箱在审
| 申请号： | 202110778558.2 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113548285A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 钱超;张超 | 申请（专利权）人： | 江苏高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/10;B65D53/04;B65D81/26;B65D81/38;B65D81/05 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛;竞存 |
| 地址： | 212400 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种金属掩膜版框架密封装载箱，包括箱体，箱体的一侧设有箱门，箱门的内侧面上均匀水平设有多个压板，压板的外侧设有压垫，箱体的顶板和底板都设有金属框架放置装置，底板上的金属框架放置装置的前方安装有递进台，顶板上的金属框架放置装置的前方安装有固定按压装置，轮槽上均布有多个滑轮，本发明结构简单，通过对掩膜版金属框架上侧以及左右两侧的按压可以实现对掩膜版金属框架稳定的夹持，防止掩膜版金属框架在运输过程中因夹持不稳定产生划伤，在箱壁内设有隔热棉可以保持箱内温度在一定范围内，防止外部温度过高导致箱内掩膜版金属框架发生较大热形变，可以对箱内的湿度进行实时监控，防止湿度过高导致掩膜版金属框架被腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掩膜版 框架 密封 装载 | ||
【主权项】：
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