[发明专利]一种大矢高凸球柱面微透镜阵列的刨削加工装置在审

专利信息
申请号: 202110775116.2 申请日: 2021-07-08
公开(公告)号: CN113369949A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 李云;雷茸粮;林妩媚;谢强;何锡琴 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
主分类号: B23Q3/08 分类号: B23Q3/08;B23Q1/26
代理公司: 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 代理人: 江亚平
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种大矢高凸球柱面微透镜阵列的刨削加工装置,该装置包括:超精密车削机床、刨削运动装置和真空吸附系统,刨削运动装置设置于超精密车削机床的X轴进给平台上,Y轴工作台设置于主轴平面上,真空吸附系统设置于Z轴进给平台上,Z轴进给平台与X轴进给平台位于同一平面内且相互垂直,X轴进给平台和Z轴进给平台呈T型分布。数控系统控制刨削运动装置带动刨削面板移动并切削。本发明属于超精密加工领域,可实现刨削单次加工切削深度的控制,金刚石刨削车刀在X轴和Z轴进给加工阵列微结构时,单次切削深度的变化可实现同曲面结构的大矢高凸球柱面微透镜阵列;同时在微透镜阵列的超精密加工中能实现高效率、高质量的效果。
搜索关键词: 一种 大矢高凸球 柱面 透镜 阵列 刨削 加工 装置
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