[发明专利]一种基于多焦点可控的动态激光并行加工的方法有效
| 申请号： | 202110768796.5 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN113433803B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 朱林伟;周立强;史强 | 申请（专利权）人： | 鲁东大学;烟台魔技纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03H1/12 |
| 代理公司： | 重庆市信立达专利代理事务所(普通合伙) 50230 | 代理人： | 刘洁 |
| 地址： | 264025 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多焦点可控的动态激光并行加工的方法，使用复振幅编码的方法生成多幅多焦点相位图，使用空间光调制器动态加载计算出的多幅相位图，实现多焦点可控的动态移动；利用飞秒激光微纳加工系统结合空间光调制器进行多焦点可控的动态激光并行加工。本发明这种多焦点动态并行微纳加工方法只需SLM动态加载相位图进行加工，无需使用位移台和振镜等精密仪器，可以省去大量繁琐步骤，并且可以同时加工不同结构，大大提高了加工的灵活性和加工效率；提高多焦点微纳加工的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 焦点 可控 动态 激光 并行 加工 方法 | ||
【主权项】：
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