[发明专利]一种多孔碳化硅原料的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110766518.6 申请日: 2021-07-07
公开(公告)号: CN113264780A 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: C04B38/06 分类号: C04B38/06;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/63
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 赵君
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种多孔碳化硅原料的制备方法,它属于多孔碳化硅材料制备技术领域。本发明要解决的技术问题为改善多孔碳化硅原料的孔隙率。本发明称量碳化硅放入球磨罐中,然后放入0.5倍质量的钨钢磨球,进行球磨后的碳化硅用筛子筛分,按照重量份数分别称量25‑30份的筛分后的碳化硅粉料、8‑10份的石墨、3‑5份的水玻璃、45‑55份的去离子水,称量好的筛分后的碳化硅粉料加入去离子水,搅拌后再加入石墨,然后再加入水玻璃,搅拌一定时间后,得到混合浆料注入模具中,然后在室温下进行干燥24‑30h,脱模后得到胚体置于电阻炉中升温至1800℃,保持3‑4h,随后随炉冷却得到一种多孔碳化硅原料。本发明原料孔隙率为45‑55%。
搜索关键词: 一种 多孔 碳化硅 原料 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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