[发明专利]一种便于定位的溅镀机用定位装置及定位方法在审
| 申请号： | 202110761949.3 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113564542A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 姜建峰;王光华 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙) 32264 | 代理人： | 刘慧 |
| 地址： | 215334 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种便于定位的溅镀机用定位装置及定位方法，包括所述主体的上方设有盖板，所述盖板上等角度设有连通所述空腔的进料口、溅镀口和出料口，所述空腔的中间位置处设有驱动机构，所述驱动机构通过横杆连接有多个安装盘，所述安装盘上设有用于安装光盘的安装槽，所述安装槽的中心位置处设有用于固定光盘的定位轴芯，所述盖板上设有连接环，所述连接环连接有阴极，所述定位夹具的中间设有与所述定位轴芯同轴同径的定位孔，所述定位夹具与所述连接环连接，移动所述定位夹具与所述连接环，使所述定位孔套于所述定位轴芯上，将所述连接环固定到所述盖板上，实现所述阴极与待溅镀光盘的快速定位，从而提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 定位 溅镀机用 装置 方法 | ||
【主权项】：
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