[发明专利]一种镀膜挡板在审
| 申请号： | 202110740570.4 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113265630A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 唐智 | 申请（专利权）人： | 纳峰真空镀膜（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人： | 卢艳民 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区青*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜挡板，安装在镀膜腔体内的转架上，所述转架上沿同一圆周设置有多个镀膜杆位，每个镀膜杆位上放置有一个镀膜杆；每个镀膜杆位上设置有一个所述镀膜挡板，所述镀膜挡板呈一端开口的长条形罩体形状，每个镀膜挡板罩在相应的镀膜杆的外部，所述镀膜挡板的开口端朝向所述转架的径向外侧延伸，且随着转架的旋转，每个镀膜挡板绕经靶材时该镀膜挡板的开口端正对靶面。本发明的镀膜挡板，可以有效控制靶材粒子入射沉积的方向，有效控制膜厚，提高膜层均匀性，提高沉积膜层的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 挡板 | ||
【主权项】：
暂无信息
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