[发明专利]一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 202110733602.8 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113584443B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 杨兵;邓宏坤;张宏业;刘琰;李敬雨;瓦西里;陈燕鸣;张俊;黄家辉 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 石超群 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐高温紧固件用AlN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlN/AlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内到外依次包括结合层、支撑层、压电功能层和保护层，其中，结合层为纯金属AlSc层，支撑层为AlSc/AlScN纳米多层膜，压电功能层为AlN/AlScN纳米多层膜，保护层为AlON层。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的硬度、耐磨和韧性；充分利用梯度结构和纳米多层结构，形成结构和成分渐变，涂层和基体应力较低，具有好的附着力；提高了涂层的耐磨性能，同时耐腐蚀性能也大幅度提高；可以在高温时很好的保护压电复合涂层不被氧化，提高其高温稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐高温 紧固 aln alscn 纳米 复合 压电 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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