[发明专利]一种光电导型冷阴极平板X射线探测器及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202110729927.9 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113471052B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈军;张志鹏;邓少芝;许宁生 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01J40/06 | 分类号： | H01J40/06;H01J40/16;H01L31/118;H01L31/18;H01L27/146 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈嘉毅 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光电导型冷阴极平板X射线探测器及其制备方法和应用，所述X射线探测器包括阳极基板和冷阴极基板，所述阳极基板包括阳极衬底、制备在阳极衬底上的阳极电极、制备在阳极电极上的半导体层；所述冷阴极基板包括冷阴极衬底、制备在冷阴极衬底上的冷阴极电极、制备在冷阴极电极上的光电导体、制备在光电导体上的冷阴极发射体；所述半导体层和所述光电导体通过隔离体相互绝缘地固定在一起，所述阳极基板上的半导体层与所述冷阴极发射体相对。本发明通过在阳极基板上设置半导体层、冷阴极基板上设置光电导体，降低了X射线探测器的暗电流，提高了X射线探测器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电导 阴极 平板 射线 探测器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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