[发明专利]一种伸缩式多晶硅还原罐体在审
| 申请号: | 202110728589.7 | 申请日: | 2021-06-29 |
| 公开(公告)号: | CN113387358A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
| 发明(设计)人: | 高中明;邢鹏飞;庄艳歆;凌勇 | 申请(专利权)人: | 扬州盈航硅业科技有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
| 代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人: | 常晓慧 |
| 地址: | 225600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种伸缩式多晶硅还原罐体,包括罐体顶座、共用罐体和罐体底座,罐体顶座和罐体底座关于共用罐体滑动连接,共用罐体两端开口的外侧壁设置有滑块,罐体顶座和罐体底座的开口端内侧均开设有环形凹槽,罐体顶座和罐体底座的内壁均竖向开设有滑槽,罐体底座的内侧底面设置有加热盘,罐体底座的下端还设置有出料口,罐体顶座开设有进料窗口,进料窗口滑动连接有密封盖。本发明罐体顶座、罐体底座与共用罐体通过滑块和滑槽连接配合滑动,进行多晶硅还原时,罐体顶座、罐体底座关于共用罐体滑动伸开,获得更大的工作空间,多晶硅还原效率高,适用性强;多晶硅还原完成时,罐体顶座、罐体底座滑动收缩,减少空间占用,便于携带和运输。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 伸缩 多晶 还原 | ||
【主权项】:
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