[发明专利]一种金属电极及具有该金属电极的深紫外LED芯片在审
| 申请号： | 202110701039.6 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113690356A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张晓娜;崔志勇;张向鹏;李勇强 | 申请（专利权）人： | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/40 | 分类号： | H01L33/40 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 郝亮 |
| 地址： | 047500 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属电极及具有该金属电极的深紫外LED芯片，所述金属电极包括粘附层(1)、反应层(2)、阻挡层(3)和保护层(4)，所述反应层(2)为由Ti膜(2.1)和Al膜(2.2)交替布置的多层结构且所述反应层(2)中的所述Ti膜(2.1)和Al膜(2.2)的厚度比为1:10。其反应层为Ti与Al按照1:10的比例进行的多层设计，使退火阶段Ti与Al能充分反应，以形成功函数低的TiN与TiAl合金，从而降低比接触电阻率，同时能避免Al的内扩散形成禁带宽度高的AlN和Al的外扩散，优化金属电极表面形态，使金属电极表面形态光滑，增强芯片的光衰维持率，延长芯片寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属电极 具有 深紫 led 芯片 | ||
【主权项】：
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