[发明专利]一种由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110694995.6 申请日: 2021-06-23
公开(公告)号: CN113321663B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 傅志伟;潘新刚;陆伟;郭有壹;纪兴跃;李静 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07D493/20 分类号: C07D493/20;G03F7/027;G03F7/004
代理公司: 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 代理人: 王金良
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及光刻胶树脂技术领域,且公开了一种由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体及其合成方法和应用,所述主链可降解型树脂单体的结构通式为:其中,R1为氢或者甲基,R2为烷基或者环烷基,M为二价的连接基团,或者R2与M形成脂肪环。该由1,3二羟基丙酮二聚体合成的主链可降解型光刻胶树脂单体,在与其它单体形成聚合物时能够产生交联,形成网状结构,有利于增加抗蚀性,并且所述树脂单体结构中含脂肪环,进一步增加了抗蚀性,树脂单体中的极性环氧结构也有助于改善树脂与晶圆的粘附性。
搜索关键词: 一种 羟基 丙酮 二聚体 合成 主链可 降解 光刻 树脂 单体 及其 方法 应用
【主权项】:
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