[发明专利]一种强韧化CrTiNiSiN纳米复合涂层制备方法在审
| 申请号： | 202110692487.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113403579A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 吴志威;周滔 | 申请（专利权）人： | 南京工业职业技术大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/34;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京灿烂知识产权代理有限公司 32356 | 代理人： | 朱妃 |
| 地址： | 210023 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种强韧化CrTiNiSiN纳米复合涂层制备方法，包括以下步骤：1)对基材进行镜面抛光和超声清洗；2)将Ti靶和Cr靶分别安装在直流靶上，Si靶和CrNi靶安装在射频靶上，将基材装夹在样品台上，关闭密封盖，改变沉积腔真空度，运用氩离子轰击基材表面进行清洗除污；3)沉积过渡Cr层；4)沉积CrN涂层；5)沉积CrTiNiSiN涂层。实现层间相的稳定过渡，有效提高层间界面质量和结合力；断面形成硬度逐渐增加的梯度，有效提高复合涂层整体的抗载能力；通过优化制备工艺，在实现增韧的前提下有效保证硬度值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 强韧 crtinisin 纳米 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京工业职业技术大学，未经南京工业职业技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110692487.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
