[发明专利]一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用在审

专利信息
申请号: 202110688917.5 申请日: 2021-06-22
公开(公告)号: CN113429324A 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 傅志伟;潘新刚;邵严亮;余文卿;陆伟 申请(专利权)人: 徐州博康信息化学品有限公司
主分类号: C07C323/19 分类号: C07C323/19;C07C319/20;G03F7/004
代理公司: 合肥鸿知运知识产权代理事务所(普通合伙) 34180 代理人: 王金良
地址: 221300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及光刻胶技术领域,且公开了一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用。所述树脂单体的结构为:其中,R1为H或者甲基,R2为C1‑C12的烷烃,L1、L2为二价连接键,A1、A2、A3、A4各自独立的为F、H或者CF3,且A1、A2、A3、A4中至少有一个为F或者CF3。本发明特定结构的树脂单体,光致产酸的锍盐基团与不饱和丙烯酸酯连接,聚合后结合在树脂上,可有效防止酸的扩散,并且其阴阳离子在同一个结构中,进一步抑制了酸的扩散,能够有效的降低线边缘粗糙度,提高分辨率。
搜索关键词: 一种 光刻 胶产酸 树脂 单体 及其 合成 方法 应用
【主权项】:
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