[发明专利]划片蓝膜检查系统和检查方法在审
| 申请号： | 202110682651.3 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113420578A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 丁万春;徐晨 | 申请（专利权）人： | 通富微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K7/14 | 分类号： | G06K7/14;G06K17/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 226004 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供一种划片蓝膜检查系统和检查方法。检查系统包括承载台、图像获取模块和比对模块，比对模块与图像获取模块电连接；承载台，用于放置待检查的划片蓝膜；图像获取模块，用于分别获取划片蓝膜的条码标识以及与划片蓝膜相对应的圆片的刻号标识；比对模块，用于将条码标识与刻号标识进行比对，并输出比对结果。利用图像获取模块获取待检查的划片蓝膜的条码标识以及对应圆片的刻号标识，可以有效杜绝人为读取条码标识和刻号标识出现错误的情况发生。比对模块将获取到的条码标识与刻号标识进行比对，并输出比对结果，可以准确快速地将不一致的划片蓝膜检出，提高划片蓝膜的检查效率以及检查良率，从而可以提高后续芯片加工良率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 划片 检查 系统 方法 | ||
【主权项】：
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