[发明专利]一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备在审
| 申请号： | 202110663239.7 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113419406A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 孙家政;王魁波;丁金滨;吴晓斌;马翔宇;季艺雯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备，动态气体隔离装置包括隔离管道以及供气装置；隔离管道包括呈间隔设置的扩张管道段以及等截面管道段，扩张管道段的截面宽度沿远离等截面管道段的方向呈逐渐增大设置，等截面管道段的截面宽度沿远离扩张管道段的方向保持不变，扩张管道段与等截面管道段之间贯设有进气口；供气装置包括高纯气源和连接管道，连接管道的两端分别连通至进气口以及高纯气源；其中，所述扩张管道段连通至高清洁腔内，所述等截面管道段连通至次清洁腔内。等截面管道段内截面宽度不变，使得流入等截面管道段内的气流量增加，提高隔离管道的抑制效果，而无需加大气流量，且压强低，提高光束的透过率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 气体 隔离 装置 以及 紫外 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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