[发明专利]双层悬浮红外热电堆的制备方法在审
| 申请号： | 202110662164.0 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113394333A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 倪藻;李伟 | 申请（专利权）人： | 上海迷思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/34 | 分类号： | H01L35/34;H01L35/32;G01J5/12;G01J5/14 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 卢炳琼 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双层悬浮红外热电堆的制备方法，通过形成位于红外吸收层下且覆盖刻蚀窗口的硅牺牲层，可在最后一道步骤中同时释放红外吸收层及热电偶复合层，形成包括第一层悬浮结构及第二层悬浮结构的双层悬浮红外热电堆，从而可有效降低工艺复杂度、提高成品率，有利于实现红外热电堆的小型化和高性能。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 悬浮 红外 热电 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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