[发明专利]一种磁力旋转沉积装置及基于其的高温高压烧结炉在审
| 申请号： | 202110661979.7 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113465363A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王红洁;李明主;贾书海;彭康;庄磊;苏磊;牛敏 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | F27B5/04 | 分类号： | F27B5/04;F27B5/18;F27B5/16 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种磁力旋转沉积装置及基于其的高温高压烧结炉，属于材料科学设备领域，包括由上至下依次设置的防爆电机、冷却装置和磁力耦合传动系统；所述磁力耦合传动系统包括减速机、外磁转子、隔离套和内磁转子，所述减速机设置在防爆电机和冷却装置之间，隔离套设置在内磁转子外侧，将内磁转子和外磁转子隔开，所述外磁转子通过联轴器与减速机磁性相连，内磁转子通过联轴器连接有旋转轴，旋转轴的另一端端部连接有旋转沉积基板。该装置通过采用磁力耦合传动系统配合旋转沉积基板，解决了现有高温高压气压炉，由于炉腔内的高压气体流动性差，对于有气体参与的化学气相沉积，难以保证其产物的均匀性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁力 旋转 沉积 装置 基于 高温 高压 烧结炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
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