[发明专利]晶圆表面缺陷检测方法和设备在审
| 申请号： | 202110659537.9 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113344886A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 石强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 吕玥;于景辉 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 提供晶圆表面缺陷检测方法和设备。该方法包括接收针对第一工艺处理的晶圆表面的图像；和将接收的图像输入针对第一工艺处理的第一晶圆表面缺陷检测模型以检测晶圆表面的缺陷，其中，第一晶圆表面缺陷检测模型是通过如下处理来训练得到的：基于针对各个工艺处理采集的晶圆表面的多幅第一样本图像以及针对每幅第一样本图像标记的缺陷来对基于深度学习的模型进行训练以获得预训练模型；和基于针对第一工艺处理采集的晶圆表面的多幅第二样本图像以及针对每幅第二样本图像标记的缺陷调整预训练模型的至少部分模型参数。由此充分利用晶圆缺陷图像大数据的普遍性信息，同时考虑在不同制造工艺处理中的晶圆缺陷数据的特异性，提供了鲁棒的缺陷检测模型。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
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