[发明专利]一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法有效
| 申请号： | 202110655172.2 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113466393B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王海容;石路嘉;王久洪;吴欣雨;韩宝庆;王大祚;陈家洛 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60;B01D15/10;B01D53/04;B01J20/283;B01J20/30 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 姚咏华 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可用空气作载气的微型气相色谱柱及其制作方法，包括在硅片上光刻剥离形成铝掩膜层；通过刻蚀形成带有微立柱阵列的色谱柱微流道；酸溶液浸泡硅片，去除掩膜并与硼硅玻璃键合；在硅片背面溅射钛与铂作为测温电阻、加热丝与电极；溅射金作为电极引脚；毛细管连接微型气相色谱柱两端口；在色谱柱微流道内构筑介孔二氧化硅微球，静态涂覆方式涂覆离子液体固定相。色谱柱内介孔结构极大增加了固定相的涂覆面积，在有限色谱柱长度内提高分离能力，对氧气有很好的耐受性，保证微色谱柱在高温有氧环境下的高可靠性、高稳定性和高柱效，能够直接运用空气作载气，为VOCs检测系统提供一种优良的微色谱柱。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可用 空气 作载气 微型 色谱 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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