[发明专利]多层膜、光学器件、光子集成电路器件和光收发器在审
| 申请号： | 202110643110.X | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113885229A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 三田村宣明 | 申请（专利权）人： | 富士通光器件株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035;G02B6/122;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘久亮;黄纶伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
多层膜、光学器件、光子集成电路器件和光收发器。一种多层膜包括单晶硅层、含有Zr的第一层、含有ZrO |
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| 搜索关键词： | 多层 光学 器件 光子 集成电路 收发 | ||
【主权项】：
暂无信息
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