[发明专利]选择与衬底上的测量或特征相关联的部位的集合在审
| 申请号： | 202110630682.4 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN113341659A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | P·弗朗西斯科;S·P·马特瓦;J·S·怀登伯格 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种选择衬底上用于测量或特征的部位的最优集合的方法，该方法包括：(302)：限定约束条件，并且可选地限定成本函数。(306)：限定部位的第一候选方案。(308)：基于对所述第一候选方案的方案域中的坐标的修改，限定具有部位的第二候选方案。这可能涉及重复、突变和交叉。(310)：确定与所述衬底上所需的测量准确性或特征布局相关联的成本函数的值。(312)：根据与所述衬底相关联的约束并且可选地根据所述成本函数的值，选择所述第一候选方案和/或第二候选方案作为所述最优方案。(314)：如果满足所述约束并且所述成本函数的值已收敛，或者如果已达到一迭代次数，则迭代结束。 | ||
| 搜索关键词： | 选择 衬底 测量 特征 相关 部位 集合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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