[发明专利]一种用于管内法制棒设备的压力调节装置及方法

摘要

本发明公开了一种用于管内法制棒设备的压力调节装置及方法，包括与石英衬管尾部排气旋转密封装置相连的过渡管、与过渡管相连的排气管、用于输送补偿气体的压力补偿气管、气体质量流量计以及压力计，所述压力补偿气管伸入到过渡管内腔，气体出口朝向石英衬管的尾端，所述过渡管上安装的压力计检测到的压力，作为反馈信号传送到主控制器，主控制器通过PID算法，调节气体质量控制器的设定值，控制补偿气体的流量，从而达到压力的调节。本发明通过可调节的、精细控制的补偿气体流量与大致稳定的排气负压，使得石英衬管内的相对压力达到±1Pa的控制精度，比传统的排气负压调节具有精度高、稳定性好、相对压力范围从正压到负压均可控。