[发明专利]基于改进的YOLO网络的晶圆表面缺陷检测方法及系统在审
| 申请号： | 202110616677.8 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113222982A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 杨明来;曹肖可;汤凯;晁阳;张雪玲;海伦;席泽鹏;陈威 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/00;G06K9/62;G06N3/04 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200235 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于改进的YOLO网络的晶圆表面缺陷检测方法及系统，包括如下步骤：采集晶圆图像，对所述晶圆图像表面缺陷进行位置和缺陷类型的标注生成数据集，将所述数据集分为训练集和测试集；对训练集进行聚类分析，确定目标anchor值；改进YOLO网络模型中的主干特征提取网络Darknet‑53和多尺度特征融合网络FPN，生成优化后的YOLO目标检测模型；将聚类分析后的训练集输入到优化后的YOLO网络模型中进行训练生成晶圆表面缺陷模型，并通过所述测试集对所述晶圆表面缺陷模型进行测试。本发明提供能够用于实现晶圆成品表面缺陷的检测，检测的缺陷包括划痕、污染、残缺等等，通过对YOLO网络模型的改进，能够较以往传统的检测方法，准确性和实时性得到进一步提高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 改进 yolo 网络 表面 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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