[发明专利]一种铁电薄膜电容器及其制备方法在审
申请号: | 202110615418.3 | 申请日: | 2021-06-02 |
公开(公告)号: | CN113270271A | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 唐振华;姚帝杰;李泽丽;胡松程;张莉;唐新桂;刘秋香 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01G4/33 | 分类号: | H01G4/33;H01G4/30 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 黄忠 |
地址: | 510060 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及微电子技术领域,尤其涉及一种铁电薄膜电容器及其制备方法。本发明公开了一种铁电薄膜电容器,该铁电薄膜电容器中使用无铅、对环境友好的铁酸铋(BFO)掺杂的钛酸铋钠‑钛酸钡(NBT‑BT)薄膜,有利于后续电子器件的回收与再利用;该薄膜材料的使用使铁电薄膜电容器获得高的放电能量密度与储能效率,其储能性能表现出高温稳定性,通过充放电特性表明薄膜电容器具有更快的微秒放电和较大的介电强度,有望成为一种环保型无铅材料,可用于储能电容器的应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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