[发明专利]太阳能电池硅片输送装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202110611437.9 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113257731A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 金刘;沈晓;范帅;周兵;华宏杰 | 申请（专利权）人： | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 李楠 |
| 地址： | 213100 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及硅片输送技术领域，尤其是一种太阳能电池硅片输送装置及其使用方法，包括：机架；吸盘转移单元，具有X轴驱动机构及两个Y轴驱动机构，两个步进供片单元；以及皮带输送机构，本发明采用喷气块吹动硅片组，使吹气区内的硅片各自向上翘起分开，并在吸盘吸附住堆叠空间内最上方的硅片时，再由顶升机构带动承载板下移，对硅片组产生一个下拉的动作，将硅片组与最上方的硅片拉开，以此确保吸盘只吸附一片硅片，提高生产的稳定性及可靠性；同时，利用吸盘转移单元与两个步进供片单元进行相互协同工作，可提高生产效率，并能够延长喷气块吹气时间，有利于硅片的分片且有利于吹气区内硅片的状态趋于稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 硅片 输送 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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