[发明专利]一种供气系统及其制作方法在审
| 申请号： | 202110608791.6 | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113265628A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张德军;杨武华 | 申请（专利权）人： | 深圳市创基真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及真空布气的领域，尤其是涉及一种供气系统及其制作方法，其中，一种供气系统包括内管与套设于内管外的外管，所述内管与外管贴合，所述内管外壁开设有通气槽；所述内管上开设有进气口，所述外管上开设有至少两个出气口，所述通气槽一端与进气口连通，另一端与出气口连通；所述通气槽上进气口与各出气口之间形成的通气通道的长度相等。本申请的供气系统供气更加均匀，具有提高基体品质的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供气 系统 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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