[发明专利]一种对多层透明材料进行缺陷检测的系统及方法有效
| 申请号： | 202110603272.0 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN113281343B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 孔亮;杨凡超;刘永征;刘文龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/896;G01B11/06;G01B11/30 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对多层透明材料进行缺陷检测的系统，包括：复色光源、色散光学器件、相机以及控制及数据处理单元；利用色散共焦的原理对透明材料内部分层进行线扫描，利用线扫描得到的多帧图像进行处理之后得到透明材料各层的立体图像，并且能对材料表面或者透明材料某一层进行缺陷(突起或者凹陷)的尺寸进行计算。本发明的能定量测量出材料表面缺陷的尺寸，同时实现了对材料表面全覆盖测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 透明 材料 进行 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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