[发明专利]一种固态原材料源瓶及具有其的CVD装置

摘要

本发明揭示了一种固态原材料源瓶及具有其的CVD装置。固态原材料源瓶用于CVD制程中提供固态原材料，所述固态原材料源瓶具有至少一层镂空挡板，所述至少一层镂空挡板悬设于所述固态原材料源瓶的内壁上。本发明于固态原材料源瓶中设置镂空挡板，载气会受到镂空挡板的阻挡，会有部分的载气行进到固态原材料源瓶的侧壁及底面，从而保证在整个使用周期内，载气会到达固态原材料源瓶的各个部位，即载气与固态原材料源的接触面积较大(例如大于S1)，达到一个稳定的源物质量的最大值，如此，源效率在整个周期会保持平稳，从而利于生产监控。