[发明专利]一种基于激光面减薄的阶梯式压电能量采集器及制备方法在审

专利信息
申请号: 202110591967.1 申请日: 2021-05-28
公开(公告)号: CN113315415A 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 李以贵;王保志;张成功;董璇;王欢 申请(专利权)人: 上海应用技术大学
主分类号: H02N2/18 分类号: H02N2/18
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 顾艳哲
地址: 201418 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及一种基于激光面减薄的阶梯式压电能量采集器及制备方法,阶梯式压电能量采集器包括悬臂梁,以及设于悬臂梁两端的固定装置与质量块,其中悬臂梁包括自上而下依次设置的压电层、粘结层以及金属衬底层,并且沿指向质量块的悬臂梁长度方向,压电层与金属衬底层的厚度均呈阶梯状逐渐减小。与现有技术相比,本发明通过激光设备进行阶梯减薄工艺,在传统矩形悬臂梁上释放应力,获得低频、高输出和高能量密度的阶梯式压电能量采集器件,具有制备方法简单、可控性强、兼容性好等优点,所制备的阶梯状悬臂梁具有能量密度高、谐振频率低和输出电能高等优点,具有较为广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 基于 激光 面减薄 阶梯 压电 能量 采集 制备 方法
【主权项】:
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