[发明专利]评估用于检查半导体样本的检查算法在审
| 申请号： | 202110576406.4 | 申请日： | 2021-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN113763317A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | I·布莱瓦斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于评估用于检查半导体样本的检查算法的方法、非瞬态计算机可读介质和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 评估 用于 检查 半导体 样本 算法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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