[发明专利]MEMS微镜单元及MEMS微镜阵列有效
| 申请号： | 202110571642.7 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113281898B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 武震宇;汪洋;张浩;王栎皓;姜新泉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS微镜单元，所述MEMS微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层。本发明还提供了一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包含以密堆方式排列的多个所述的MEMS微镜单元。本发明提供的MEMS微镜单元可以实现三个自由度的精确可调，控制方式灵活；包含所述MEMS微镜单元的微镜阵列，具有高占空比，以及高一致性的镜面性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 单元 阵列 | ||
【主权项】：
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