[发明专利]一种MEMS开关在审
| 申请号： | 202110568371.X | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN115394606A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 宁瑾;侯中轩;韩国威;司朝伟;何昱容;赵永梅;王晓东;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H1/021;H01H1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种MEMS开关，包括：衬底；第一触点(5)和第二触点(7)，设置在衬底上；可变形的导电悬臂(8)，导电悬臂的第一端与第一触点(5)电连接；以及第一可动触点(9)，设置在导电悬臂(8)的第二端，使得导电悬臂(8)通过第一可动触点(9)与第二触点(7)可断开地电连接，其中，导电悬臂(8)和第一可动触点(9)中的至少一个由钪合金制备而成。本公开通过优化MEMS开关悬臂梁和可动触点的材料选择，在金属中掺入不同比例的钪，提升了开关的寿命和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 开关 | ||
【主权项】：
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