[发明专利]具有多个容积式真空泵的真空泵送系统和用于运行真空泵送系统的方法在审
| 申请号： | 202110567990.7 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113738615A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 安德莉亚·伯塔洛特;罗伯托·卡博里;大卫·卢克曼;帕斯卡·马丁;克里斯蒂安·斯帕达 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司;DH科技发展私人贸易有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B41/06;F04B49/06 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 田云 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有多个容积式真空泵的真空泵送系统和用于运行真空泵送系统的方法。本发明涉及一种具有多个容积式真空泵(20、30)以及更特别地并行工作的多个容积式真空泵的真空泵送系统(100)，并且涉及一种用于操作这样的真空泵送系统的方法。该真空泵送系统(100)包括管理单元(90)，该管理单元对真空泵送系统的所有容积式真空泵进行同步控制，并且因此允许检查真空泵送系统的可能的污染风险，并且如果需要，进行必要的校正动作而不需要对真空泵送系统的构造进行任何修改。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 容积 真空泵 系统 用于 运行 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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