[发明专利]一种藻类检测微纳光学传感器及其制作与检测方法有效
| 申请号： | 202110563684.6 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113358612B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 管轶华;金庆辉;冯璐璠;鹿胜康;项志强;郜晚蕾 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01N27/416;B81B7/00 |
| 代理公司： | 宁波甬楹专利代理事务所(普通合伙) 33447 | 代理人： | 陈其明 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 提供一种藻类检测微纳光学传感器及其制作与检测方法，包括硅基片(1)及其开槽结构面与检测边，从检测边向上开设有向上开设有正面腐蚀槽(2)，终端设置光源腔体(3)，其上面设置有光源(4)；硅基片(1)背面从检测边向上开设有背面腐蚀槽(5)，其终端设置接收腔体(6)，接收腔体(6)上面设置有信号光接收器(7)；光源腔体(3)与接收腔体(6)设置有倾斜的反射壁(15)；正面腐蚀槽(2)、光源腔体(3)与背面腐蚀槽(5)、接收腔体(6)内设置有光波导；使用前先进行标定，获得标定关系后，就可以在现场测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 藻类 检测 光学 传感器 及其 制作 方法 | ||
【主权项】：
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