[发明专利]一种光学镜片检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 202110560165.4 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113295386B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 包兴臻;赵楠;何锋赟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于光学检测技术领域，提供了一种光学镜片检测系统及检测方法，干涉仪发出的球面波经干涉仪透镜聚焦于第一焦点，分光镜置于干涉仪的出光光路，用于将经待检镜反射回的一束光按照原出射光路反射至干涉仪中，形成的干涉条纹用于指导待检镜的精加工；另一束光透过分光镜后汇聚于第二焦点；朗奇光栅置于分光镜的透射光路中，不与第二焦点位置重合；经朗奇光栅调制后的光束入射至成像镜组，形成朗奇光栅条纹，用于检测待检镜的面型的粗加工缺陷。本发明使得同一光路中可同时采用朗奇光栅与干涉仪进行检测，不但能够对加工过程的粗加工进行检测，也可对精抛光过程进行检测，二者的检测结果可实时对比校正。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学镜片 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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