[发明专利]一种莫尔干涉光对玻璃表面缺陷检测的检测装置在审
| 申请号： | 202110558683.2 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113237898A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘忠;呼江勇;陶程 | 申请（专利权）人： | 七海测量技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙) 44482 | 代理人： | 肖静杰 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福永街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种莫尔干涉光对玻璃表面缺陷检测的检测装置，莫尔干涉光源与CCD相机位于玻璃载物台的同侧,光学镜头位于莫尔干涉光源与CCD相机的中间，莫尔干涉光源的光轴垂直于玻璃载物台，CCD相机、光学镜头的光心与莫尔干涉光源的光心位于同一轴线上。本发明：(1)具有很高的灵敏度，可以实现对被测玻璃表面缺陷进行放大的莫尔干涉图像，可应用于批量生产的玻璃缺陷检测，相比于传统直接通过CCD拍摄的方式，准确性得到了明显的提升。(2)本发明根据实际需求采用了单色滤光单元，对LED光源发出的光进行波长筛选，形成单色光，提高了装置的抗扰性和莫尔干涉图像分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 莫尔 干涉 玻璃 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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