[发明专利]一种镜头内部形变的弱相干光学检测方法与系统有效
| 申请号： | 202110558107.8 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113295385B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李鹏;龚昭宇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/16 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镜头内部形变的弱相干光学检测方法与系统。利用OCT分别采集镜头形变前后各镜片表面的干涉光谱；提取获得深度域复数信号；基于深度域强度信号，对各个镜片表面进行微米精度的表面定位，获得每个镜片表面的像素位置及亚像素位置；基于深度域相位信号，检测纳米精度的镜头内部形变；基于深度域复数信号分析每个镜片表面的光谱域相位，以补偿深度域相位的包裹量，扩展量程至微米量级。本发明解决了传统方法中量程和精度不能同时兼顾的问题，实现了镜头内部形变的大量程、高精度无损检测，对伪像问题做了优化，提升了各镜片表面定位的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜头 内部 形变 相干 光学 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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