[发明专利]离子束和射频混合驱动的容性耦合等离子体源在审
申请号: | 202110555800.X | 申请日: | 2021-05-21 |
公开(公告)号: | CN113436951A | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 周有有;张雅;王宇 | 申请(专利权)人: | 武汉理工大学 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/32 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 许美红;钟锋 |
地址: | 430070 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种离子束和射频混合驱动的等离子体源,包括真空腔室,其内设有平行且水平放置的上极板和下极板,该上极板为栅状电极板,该上极板上还设有离子束源;该容性耦合等离子体源还包括射频电源,其输出端连接上极板或者下极板;该真空腔室上还设有进气系统,放电气体通过进气系统注入真空腔室内;上极板和下极板通电后产生容性耦合等离子体,离子束源内的高能离子通过栅状电极注入放电区域,并直接与放电区域的等离子体中各粒子发生碰撞并传递能量。本发明可以实现不同环境和需求的等离子体源。 | ||
搜索关键词: | 离子束 射频 混合 驱动 耦合 等离子体 | ||
【主权项】:
暂无信息
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