[发明专利]准分子灯和光照射装置在审
| 申请号： | 202110555464.9 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113555272A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 柳生英昭 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J61/16 | 分类号： | H01J61/16;H01J61/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供谋求照度提高的准分子灯和光照射装置。准分子灯是在放电容器内封入有如下气体：由氪(Kr)或氙(Xe)形成的第一气体；含有氯原子(Cl)或溴原子(Br)的第二气体；以及第三气体，其是从由氩(Ar)、氖(Ne)以及氦(He)构成的组之中选择的至少一个，并且呈现出所述第一气体的气体分压(P |
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| 搜索关键词： | 分子 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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