[发明专利]一种硅基OLED微显示器件膜层去除工艺有效
| 申请号： | 202110552095.8 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113290316B | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 曹贺;刘晓佳;吕迅;刘胜芳;赵铮涛;潘倩倩 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/00 | 分类号： | H10K71/00;B23K26/142;B23K26/36 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 孟迪 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种硅基OLED微显示器件膜层去除工艺，属于硅基OLED微显示器件制备技术领域，该膜层去除工艺包括将待处理的晶圆上料并定位在作业平台上，并完成激光对位；启动激光系统，对目标膜层采用单点多次激光作业，去除目标膜层，同时对作业区域进行氮气吹扫；对激光去除膜层完成的晶圆进行湿法清洗作业；对清洗完成的晶圆进行烘烤作业；本发明的有益效果是，该膜层去除工艺简单，膜层去除效率高，可避免刻蚀不良及封装层损伤异常，提高了产品良率，同时降低了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 显示 器件 去除 工艺 | ||
【主权项】：
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