[发明专利]一种修整头旋转部件、抛光垫修整头和修整器在审
| 申请号： | 202110551351.1 | 申请日： | 2021-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN113183031A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 周智鹏;张志军 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈志海 |
| 地址： | 311305 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种修整头旋转部件、抛光垫修整头和修整器。在传动膜与研磨座之间所形成的腔体内设置所述内圈下压盖，并在内圈下压盖与研磨座之间设置万向传动销，从而构成传动膜传动结构，由于传动膜具有可变形的特性，当设置于研磨座下的砂轮盘与抛光垫接触后，通过向修整头旋转部件向下施加一定压力，传动膜以万向传动销为调节支点随着砂轮盘贴合抛光垫而形变，从而实现万向调节，使得砂轮盘与抛光垫紧密贴合，进而保证了修整头对抛光垫的抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修整 旋转 部件 抛光 | ||
【主权项】：
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