[发明专利]双脉冲涡旋飞秒激光制备级联增强SERS基底的方法在审

专利信息
申请号: 202110548198.7 申请日: 2021-05-19
公开(公告)号: CN113278927A 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 姜澜;李晓炜;周世鹏;高帅;黄骥 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: C23C14/30 分类号: C23C14/30;C23C14/16;C23C14/02;G01N21/65
代理公司: 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 代理人: 邬晓楠
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种双脉冲涡旋飞秒激光制备级联增强SERS基底的方法,属于激光应用技术领域。该方法制备的SERS基底由贵金属纳米颗粒、微针尖、微透镜三种结构组成。首先利用时空协同整形的涡旋脉冲序列在硅表面制备出微凹面‑微针尖复合结构,通过调节脉冲延时优化激光能量的沉积可以实现微凹面曲率的灵活调节。经过后续贵金属薄膜沉积,微凹面结构的反射率大大提高可以作聚焦微透镜,且在微针尖表面会附着大量贵金属纳米颗粒。通过调节微凹面曲率将入射激光汇聚到微针尖顶端,提高微针尖附近的局部激光能量密度,从而提高针尖纳米颗粒的局域表面等离子体共振强度,起到级联增强效果,达到提高拉曼散射信号强度的目的。
搜索关键词: 脉冲 涡旋 激光 制备 级联 增强 sers 基底 方法
【主权项】:
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