[发明专利]利用嵌段分子自组装制备取向可调亚5nm纳米模板的方法有效
| 申请号： | 202110544365.0 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113372557B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 杨巍璐;沈志豪;范星河;汤哲浩 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C08G77/388 | 分类号： | C08G77/388;C08G77/38;C08J5/18;C08J7/02;C08J7/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 李稚婷 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用嵌段分子自组装制备取向可调亚5nm纳米模板的方法。将单分散低聚二甲基硅氧烷(ODMS)与卟啉液晶核相连接合成含ODMS的有机‑无机杂化嵌段分子，利用ODMS与卟啉之间的强化学不相容性和强相分离能力，本体组装得到周期尺寸5nm以内的结构。将嵌段分子通过旋涂的方法制备成薄膜，得到5nm以内的纳米模板。通过调节ODMS的链长可对自组装的结构和尺寸进行调控，并且可通过表面诱导等方法控制自组装结构的平行或垂直取向。本发明制备纳米模板不需要复杂的工艺和昂贵的精密仪器，组装结构的周期尺寸小于5nm，条纹状组装结构中对应的纳米图案的线宽在3nm以内，小于目前光刻技术的线宽极限5nm，有望应用于下一代集成电路中晶体管的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 分子 组装 制备 取向 可调 nm 纳米 模板 方法 | ||
【主权项】：
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