[发明专利]一种日盲紫外光电探测器及其应用

摘要

本发明公开了一种底栅结构日盲紫外光电探测器，包括衬底，栅电极、栅介质层、沟道层、覆盖层、源电极和漏电极，其中，衬底表面形成栅电极，栅电极表面形成栅介质层，栅介质层表面形成沟道层，沟道层表面分别形成覆盖层、源电极和漏电极，且源电极和漏电被覆盖层隔开；本发明还公开了一种顶栅结构日盲紫外光电探测器，衬底表面形成覆盖层，覆盖层表面形成沟道层，沟道层表面分别形成栅介质层，漏电极和源电极，且漏电极和源电极被栅介质层隔开，栅介质层表面形成栅电极，且不与源电极、漏电极相连。上述日盲紫外光电探测器具有较高的光谱选择性。本发明还公开了一种日盲紫外光电探测器在可穿戴材料中的应用，可更为方便地探测日盲紫外光。